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恒歌在线式气体专用过滤器

简要描述:OF系列在线式专用气体过滤器,专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒,在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤,满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-11-01
  • 访  问  量:86

详细介绍


用于半导体应用在线式气体专用过滤器

产品介绍

OF系列在线式专用气体过滤器,专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒,在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤,满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。

产品特点

不锈钢粉末烧结介质,可快速排气

整体316L不锈钢结构

减少工艺腔体排气时的湍流

适用于多种工艺气体

洁净室环境内制造、测试、包装

100%完整性测试通过

100%氦气泄露检测通过

耐高温、耐高压、耐腐蚀

防止微粒混入,帮助提高产品合格率

可根据安装空间进行设计

恒歌在线式气体专用过滤器















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