半导体洁净室温湿度监测的重要性

洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数都需要进行控制的密闭性空间。许多精密加工行业、半导体、芯片、医学手术室、电子设备、航天、制药、生物实验室行业等都需要洁净室。比如医学行业主要是为了防止病菌、细菌、灰尘对病人手术过程中造成感染；温湿度对于精密仪器仪表产品的精确程度有很大影响。

        半导体在芯片、集成电路、消费电子、通信系统等中都有应用，

        半导体制造洁净室对温湿度的要求一般是温度处于22-28℃ ，湿度在30-50 RH（%）之间。洁净室运作过程中对相对湿度环境控制尤为常见。因为相对湿度会对洁净室总体表现下降有较大影响，比如加速细菌繁殖；人体舒适感不佳，人体汗液可能污染半导体产品；出现静电荷；加快金属腐蚀生锈；水汽冷凝污染半导体表面的清洁度；光刻的退化；影响光刻胶附着能力等。

         因此，对于半导体洁净室的温湿度控制尤为重要。现在的半导体洁净室系统都会严格控制温湿度、空气洁净度和压力程度等，在室内安装不同的温湿度传感器、压力传感器等，做到实时监测、实时控制。恒歌也有多款温湿度变送器传感器、温湿度仪表、温湿度记录仪等产品应用于各种高精尖行业、生物实验室、制药车间、洁净室的温湿度监测。

        运用各种传感器来对温湿度数据进行实时监控，但是偶尔传感器用久了，也会发生漂移现象。因此传感器是需要定期校准的。恒歌温湿度校准仪表具有操作方便、便携、多功能、高精度、多种测量/数据输出模式等优点，成为工业现场、实验室、仪表制造常用的计量校准工具。

        不同的洁净室对于温湿度的要求是不同的，主要是根据加工使用的产品本身的特性来考量。但是有一点是可以肯定的，温湿度不管在任何行业，作为一个环境因素发挥着重要的影响力。我们总是运用各种手段进行温湿度数据监控，以便达到我们的理想状态。